埼玉大学開放特許集(改訂版)
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発明の名称問合番号P1309-27JP技術分野製造技術電界スペクトル測定装置および物体測定装置特許第5927112号国立大学法人埼玉大学出願番号特願2012-505757発明者塩田 達俊公開番号WO2011/115232特許番号特許権者参照波路を伝播する参照波および参照波路と基点を同一とする1つまたは2つ以上の測定波路を伝播する測定波を受け取り、たとえば参照波のスペクトルと、参照波と測定波の合成波の二乗に比例する信号とに基づき、測定波の種々のスペクトルを取得することができるスペクトル測定装置、および前記スペクトル測定装置を用いて被測定物体の空間情報,エネルギー構造情報,屈折率,透過率,反射率等を取得することができる物体測定装置適用製品スペクトル測定装置を用いて被測定物体の空間情報,エネルギー構造情報,屈折率,透過率,反射率の少なくとも1つを取得することができる物体測定装置を提供する。課題 参照波路を伝播する参照波と、参照波路と同一の基点を持つ、第1,第2,・・・,第N測定波路を伝播する第1,第2,・・・,第N測定波とを受け取り、前記第1,第2,・・・,第N測定波の各スペクトルを求めるスペクトル測定装置において、 前記スペクトルが、被測定物体の表面または内部で折り返し、または前記被測定物体を貫通した前記第1,第2,・・・,第N測定波のスペクトルであり、 前記第1,第2,・・・,第N測定波のスペクトルは、前記被測定物体において深さ方向の位置が異なる第1,第2,・・・,第N層の面からの反射波に各々対応しており、 前記参照波のスペクトルと、 前記参照波と前記第1,第2,・・・,第N測定波の各合成波の二乗に比例する各信号とに基づき、 前記第1,第2,・・・,第N測定波の各スペクトルを求めることを特徴とするスペクトル測定装置。技術概要(請求項1)IPC出願日公開日G01N 21/172011/3/172011/9/22代表図

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