発明の名称問合番号1309-26技術分野製造技術光スペクトル計測装置特許第5807222号出願番号特願2009-163206発明者黒川 隆志、塩田 達俊公開番号特開2011-17649特許番号特許権者国立大学法人埼玉大学適用製品ガス成分の検出,結晶構造解析検出、流体速度検出等、に適用可能な光スペクトル計測装置課題幅広い周波数範囲での掃引が可能な光スペクトル計測装置を提供する。 周波数コム光源と、第1段および第2段のコム光密度低減モジュールから構成されたコム光密度低減器と、掃引用変調器と、ビート生成器と、受光器とを備え、前記ビート生成器の入射光側に試料がセットされる光スペクトル計測装置において、 前記各コム光密度低減モジュールのそれぞれが、インターリーバと光切換器とから構成され、 前記第1段のコム光密度低減モジュールの前記インターリーバは、前記周波数コム光源が生成する周波数コム光を構成する周波数コム光要素をそれぞれ2つごとに選択した2つの低密度周波数コム光に配分し、前記第1段のコム光密度低減モジュールの前記光切換器は、前記2つの低密度周波数コム光の何れかを、前記第2段のコム光密度低減モジュールに送出し、 前記第2段のコム光密度低減モジュールの前記インターリーバは、前記第1段のコム光密度低減モジュールの前記光切換器からの低密度周波数コム光を構成する周波数コム光要素を、それぞれ2つごとに選択した2つの低密度周波数コム光に配分し、前記第2段のコム光密度低減モジュールの前記光切換器は、前記第2段のコム光密度低減モジュールの前記インターリーバで配分された前記2つの低密度周波数コム光の何れかを、前記掃引用変調器に出射し、 前記掃引用変調器は、前記コム光密度低減器からの低密度周波数コム光を入射し、当該低密度周波数コム光を構成する周波数コム光要素のそれぞれについて掃引を行い、 前記ビート生成器は、前記各周波数コム光要素がそれぞれ掃引されてなる前記掃引用変調器から出射された低密度周波数コム光に特定周波数の参照光を加えてビートを生成し、 前記受光器は前記ビート生成器の出射光を検出する、ことを特徴とする光スペクトル計測装置。技術概要(請求項1)IPC出願日公開日2009/7/92011/1/27G01J 3/10, G01N 21/01代表図代表図
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