34キーワードレーザ加工，レーザスライシング，超短パルスレーザ，超精密加工，微細加工，鏡面加工■ 研究概要光学レンズは，メガネからスマートフォンのカメラ，車の自動運転技術のための車載カメラなど，様々な道具や装置にひっそりと組み込まれている，非常にありふれたものですが，高度な技術を持った技術者達が，多くの時間とコストをかけて製造した製品になります．例えば，加工の誤差は0.001mm以下．表面の凹凸は0.000001mm以下に仕上げる必要があります．そこで，私たちの研究室では，誰でも簡単に素早く光学レンズを成形できる「レーザスライシング技術」という世界初の技術を開発しました．レーザをガラス内部に集め，微小な改質部を形成します．そうすると体積膨張を起こし，ガラス内部に力が蓄えられます．これをガラス内部に無数に形成していくと，力にガラスが耐え切れず，き裂が走ります．このき裂を精密に誘導していくことにより，ガラスが2枚に分割され，レンズができるという技術です．現在，実用化に向けて加工精度，加工能率を高めている状況です．■ 産業界へのアピールポイント●埼玉大学発・世界初の加工技術．●レーザ加工一工程のみで複雑形状ガラスレンズが一発成形できる．●表面粗さ1nmRa以下の鏡面加工を実現．●切りくずゼロ，加工廃液ゼロの地球にやさしい加工技術．■ 実用化例・応用事例・活用例●単結晶シリコンの精密レーザスライシング技術（精密工学会誌，85，pp.419-425，2019）●3次元レーザスライシングによるガラス光学素子の作製（精密工学会誌，85，pp.426-431，2019）ガラスレーザスライシング法，特許6887641号山田 洋平（ヤマダ ヨウヘイ） 助教大学院理工学研究科 人間支援・生産科学部門 生産科学領域【最近の研究テーマ】●次世代半導体材料のレーザスライシング●超短パルスレーザによる高分子材料の3次元鏡面流路創成●メカノケミカル複合砥粒の開発●摩擦現象による高硬度半導体材料の砥粒レス研磨法の開発●溶融アルカリエッチングによるSiCの超高能率研磨レーザで光学レンズを一発成形
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