産学連携によりオンライン膜厚制御システムを組み込んだマイクロマシン用静電塗布装置の共同開発に成功(大学院理工学研究科 福田武司助教)
2014/09/11
概要
国立大学法人 埼玉大学 （学長：山口宏樹） 大学院理工学研究科 物理機能系専攻 福田武司助教は、多くの電子デバイスの製造工程に用いられているレジスト膜の塗布速度の高速化・膜厚の均一性に対応するため、光学式で膜厚を大面積一括に高速する測定技術を確立し、これを組み込んだ静電塗布装置およびリアルタイム制御システムを開発しました。また、本開発はNEDOのイノベーション実用化ベンチャー支援事業の支援を受けて、株式会社アイテーオー（東京都板橋区中丸町51-10 8-A号 代表取締役社長 豊田はる奈）と共同で実施しました。
本塗布装置では、高スループットが要求される塗布プロセスに適用可能な高速リアルタイム膜厚測定技術と、その膜厚情報を静電塗布装置にフィードバックすることで膜厚の面内均一性を向上させることが可能である。また、要素技術として、『高輝度平行ライン光源』、『膜厚測定カメラ』、ならびに『これらを制御するシステム』を確立して、数十マイクロメートルオーダーのレジスト膜をライン状（40mm幅）に一括して評価可能な装置を開発した。さらに、測定した膜厚情報をリアルタイムでフォードバックして成膜速度を制御可能な静電塗布装置を実現した。
本研究の成果は2014年9月11～12日に実施するイノベーションジャパン2014で展示予定である。
